Napake in vzroki rezin

Rezine delimo na gole rezine in rezine z vzorci, kot je prikazano na sliki 6. Izhodišča za obravnavo tipov napak pri obeh vrstah rezin so nekoliko različna. Na površini rezin je veliko vrst napak, ki jih lahko povzroči postopek ali napake samega materiala. Za različno razdelitev napak se lahko uporabijo različne metode odkrivanja napak. Glede na fizikalne lastnosti napak in ustreznost kasnejšega algoritma za odkrivanje napak lahko napake preprosto razdelimo na površinske redundance (delci, onesnaževalci itd.), kristalne napake (napake zdrsne linije, napake pri zlaganju), praske in vzorec napake (za vzorčaste rezine).
Površinske redundence
Na površini rezine je veliko vrst presežkov, od drobnih delcev, velikih kot desetine nanometrov, do prahu, velikega kot stotine mikronov, pa tudi površinskih ostankov, ki jih je pustil prejšnji postopek. Delci se lahko vnesejo v procesih, kot so jedkanje, poliranje in čiščenje. Odvečne napake v glavnem izvirajo iz prahu na površini rezine med proizvodnjo in predelavo, čistosti zraka, ki ne ustreza standardu, in kemičnih reagentov med obdelavo. Ti delci bodo med fotolitografijo blokirali svetlobo in povzročili napake v strukturi integriranega vezja. Kontaminanti se lahko oprimejo površine rezine, kar povzroči nepopolne vzorce in vpliva na električne lastnosti čipa, kot je prikazano na sliki 7.
Kristalne napake
Pogosta napaka so tudi napake drsnih linij. Nastanejo zaradi neenakomernega segrevanja med rastjo kristalov. Običajno tvorijo vodoravne tanke ravne črte na zunanjem robu oblata. Ker je velikost zdrsa razmeroma velika, jo je mogoče prepoznati z ročnim opazovanjem.
Napake zlaganja so tudi napake, ki jih lahko najdemo v epitaksialnih slojih. Običajno jih povzroči uničenje običajnega vrstnega reda tesno zapakiranih ravnin v kristalni strukturi. Njihova velikost je običajno na mikronski ravni.
Mehanske poškodbe
Mehanske poškodbe se na splošno nanašajo na praske na površini rezine, ki nastanejo zaradi poliranja ali rezanja. Običajno jo povzroči kemično mehansko poliranje (CMP) in je v obliki loka ali pa je lahko porazdeljena v obliki diskontinuirane točke, kot je prikazano na sliki 10. Ta poškodba je lahko velika ali majhna in običajno vpliva na povezljivost vezja rezin. Gre za hujšo napako. To napako je mogoče popraviti in je lahko posledica nepravilnega mehanskega delovanja.